Substrate processing device and substrate processing method that use photocatalyst

WO2020183880 Art A1 17. September 2020

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020183880
Aktenzeichen: EP20769768
Anmeldetag: 8. Januar 2020
Veröffentlichung: 17. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B01J35/02H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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