Underlayer-film-forming composition for imprinting, method for producing underlayer-film-forming composition, kit, method for producing pattern, and method for producing semiconductor element

WO2020184497 Art A1 17. September 2020

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020184497
Aktenzeichen: EP20769582
Anmeldetag: 9. März 2020
Veröffentlichung: 17. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C08F290/08C08F299/00C08K5/09C08L101/00H01L21/027B29C59/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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