Temperature Tunable Multi-Zone Electrostatic Chuck

WO2020185314 Art A1 17. September 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020185314
Aktenzeichen: EP20769004
Anmeldetag: 27. Januar 2020
Veröffentlichung: 17. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H05B1/02H01L21/67G05B19/404

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von