Electrostatic Chuck Heater Resistance Measurement To Approximate Temperature

WO2020185744 Art A1 17. September 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020185744
Aktenzeichen: EP20770565
Anmeldetag: 10. März 2020
Veröffentlichung: 17. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/683G01R27/08G01R19/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von