Developer and patterning method for photosensitive polyimide precursor

WO2020186585 Art A1 24. September 2020

Anmelder: Shenzhen Institutes of Advanced Technology 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020186585
Aktenzeichen
EP19919922
Anmeldetag
15. April 2019
Veröffentlichung
24. September 2020
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/32G03F7/004C08L79/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shenzhen Institutes of Advanced Technology
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Shenzhen Institutes of Advanced Technology

Chinesisches Forschungsinstitut in Shenzhen unter der Chinesischen Akademie der Wissenschaften mit Schwerpunkten in Robotik, Biomedizintechnik und neuen Materialien.

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