Lithographic apparatus and method for motor temperature control

WO2020187671 Art A1 24. September 2020

Anmelder: ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020187671
Aktenzeichen: EP20711562
Anmeldetag: 12. März 2020
Veröffentlichung: 24. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H02K9/00H02K41/00H02K15/12H02K41/03

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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