Micromanipulator devices and metrology system

WO2020187713 Art A1 24. September 2020

Anmelder: ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020187713
Aktenzeichen: EP20712488
Anmeldetag: 13. März 2020
Veröffentlichung: 24. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B82Y35/00G01B7/34G01Q20/02G01Q60/04B23K26/04G01B9/02G01B11/22G01Q60/22H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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