Stage movement control apparatus and charged particle beam system

WO2020188759 Art A1 24. September 2020

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020188759
Aktenzeichen: EP19920453
Anmeldetag: 19. März 2019
Veröffentlichung: 24. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20H01J37/147

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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