Holder and charged particle beam device

WO2020189329 Art A1 24. September 2020

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020189329
Aktenzeichen: EP20773134
Anmeldetag: 6. März 2020
Veröffentlichung: 24. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20H01J37/244

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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