Rapid tuning of critical dimension non-uniformity by modulating temperature transients of multi-zone substrate supports

WO2020190571 Art A1 24. September 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020190571
Aktenzeichen: EP20773614
Anmeldetag: 10. März 2020
Veröffentlichung: 24. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/033H01L21/67H01L21/683H01J37/32C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von