Sample holder, system and method

WO2020190919 Art A1 24. September 2020

Anmelder: CARL ZEISS SMT INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020190919
Aktenzeichen: EP20719259
Anmeldetag: 17. März 2020
Veröffentlichung: 24. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/046G21K7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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