Method for imaging a region of interest of a sample using a tomographic x-ray microscope, microscope, system and computer program

WO2020191121 Art A1 24. September 2020

Anmelder: CARL ZEISS SMT INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020191121
Aktenzeichen: EP20718996
Anmeldetag: 19. März 2020
Veröffentlichung: 24. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G21K7/00G06T7/73

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von