System and method for converting backside surface roughness to frontside overlay

WO2020191371 Art A1 24. September 2020

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020191371
Aktenzeichen: EP20773199
Anmeldetag: 20. März 2020
Veröffentlichung: 24. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/08G01B13/24G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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