Magnetic levitation system and method of measuring a distance between at least one electromagnetic actuator and a ferromagnetic element

WO2020192911 Art A1 1. Oktober 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020192911
Aktenzeichen: EP19715035
Anmeldetag: 27. März 2019
Veröffentlichung: 1. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677F16C32/04H02K41/02B60L13/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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