Verfahren zum Herstellen einer Halte- und Positioniervorrichtung und eines Kühlkörpers

WO2020193042 Art A1 1. Oktober 2020

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020193042
Aktenzeichen: EP20707393
Anmeldetag: 25. Februar 2020
Veröffentlichung: 1. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B22F3/105B22F5/10B22F7/06G02B7/182G03F7/20B33Y80/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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