Substrate positioning device and electron beam inspection tool

WO2020193259 Art A1 1. Oktober 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020193259
Aktenzeichen: EP20710947
Anmeldetag: 16. März 2020
Veröffentlichung: 1. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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