Heizvorrichtung für einen Suszeptor eines Cvd-Reaktors

WO2020193494 Art A1 1. Oktober 2020

Anmelder: AIXTRON SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020193494
Aktenzeichen: EP20723285
Anmeldetag: 24. März 2020
Veröffentlichung: 1. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/46C23C14/54C30B25/10H01L21/67H05B3/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIXTRON SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Aixtron

Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.

303 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von