High-voltage pulse generation device, gas laser device, and method for manufacturing electronic device

WO2020194515 Art A1 1. Oktober 2020

Anmelder: NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION NAGAOKA UNIVERSITY, GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020194515
Aktenzeichen: EP19921476
Anmeldetag: 26. März 2019
Veröffentlichung: 1. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/097

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION NAGAOKA UNIVERSITY
GIGAPHOTON INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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