Dry etching method and method for producing semiconductor device

WO2020195559 Art A1 1. Oktober 2020

Anmelder: CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020195559
Aktenzeichen
EP20779191
Anmeldetag
2. März 2020
Veröffentlichung
1. Oktober 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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