Composition for polishing semiconductor wiring

WO2020196162 Art A1 1. Oktober 2020

Anmelder: DAICEL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020196162
Aktenzeichen: EP20777604
Anmeldetag: 18. März 2020
Veröffentlichung: 1. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: DAICEL CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Daicel Corporation

Daicel Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Celluloseacetat, Airbag-Gasgeneratoren und Spezialchemikalien herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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