Coating device and head unit

WO2020196355 Art A1 1. Oktober 2020

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020196355
Aktenzeichen: EP20778343
Anmeldetag: 23. März 2020
Veröffentlichung: 1. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B05C11/00B05C11/10G01B11/14B05C5/02G01B21/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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