Polymer, resist composition, method for manufacturing substrate having pattern formed therein, and (meth)acrylic ester and production method therefor

WO2020196667 Art A1 1. Oktober 2020

Anmelder: MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020196667
Aktenzeichen: EP20776653
Anmeldetag: 25. März 2020
Veröffentlichung: 1. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C07D333/48C08F220/38C07B61/00G03F7/039

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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