Carrier transport system, vacuum deposition system, and method of transporting a carrier in a vacuum chamber

WO2020200443 Art A1 8. Oktober 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020200443
Aktenzeichen: EP19716857
Anmeldetag: 3. April 2019
Veröffentlichung: 8. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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