Measurement device, patterning device, and method for producing article

WO2020203104 Art A1 8. Oktober 2020

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020203104
Aktenzeichen: EP20782919
Anmeldetag: 11. März 2020
Veröffentlichung: 8. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956G01B11/24G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

19.221 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von