Method for producing active light sensitive or radiation sensitive resin composition, pattern forming method, and method for producing electronic device

WO2020203246 Art A1 8. Oktober 2020

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020203246
Aktenzeichen
EP20782428
Anmeldetag
17. März 2020
Veröffentlichung
8. Oktober 2020
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/038G03F7/039G03F7/20G03F7/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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