Treatment liquid, pattern forming method

WO2020203621 Art A1 8. Oktober 2020

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020203621
Aktenzeichen: EP20783159
Anmeldetag: 26. März 2020
Veröffentlichung: 8. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F7/32H01L21/027H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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