Etching material for atomic layer etching

WO2020203636 Art A1 8. Oktober 2020

Anmelder: ADEKA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020203636
Aktenzeichen: EP20783160
Anmeldetag: 26. März 2020
Veröffentlichung: 8. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23F1/12H01L21/302

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: ADEKA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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