Model-based scheduling for substrate processing systems

WO2020205339 Art A1 8. Oktober 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020205339
Aktenzeichen: EP20784377
Anmeldetag: 24. März 2020
Veröffentlichung: 8. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67G05B19/418G06N20/00H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von