Organoamino-functionalized cyclic oligosiloxanes for deposition of silicon-containing films

WO2020206295 Art A1 8. Oktober 2020

Anmelder: VERSUM MATERIALS US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020206295
Aktenzeichen: EP20782529
Anmeldetag: 3. April 2020
Veröffentlichung: 8. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C07F7/18C07F7/10C23C16/40

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: VERSUM MATERIALS US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von