An object positioning system, diagnostic and calibration methods, positioning control method, lithographic apparatus and device manufacturing method

WO2020207684 Art A1 15. Oktober 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020207684
Aktenzeichen: EP20711840
Anmeldetag: 10. März 2020
Veröffentlichung: 15. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L41/00H01L41/04H02N2/02G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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