Method for producing a glass body having cooling channels

WO2020207741 Art A1 15. Oktober 2020

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020207741
Aktenzeichen: EP20713261
Anmeldetag: 19. März 2020
Veröffentlichung: 15. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B29D11/00G02B5/08G02B7/18G03F7/20G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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