Imaging Optical Unit For Imaging an Object Field Into an Image Field, And Projection Exposure Apparatus Comprising Such an Imaging Optical Unit

WO2020207768 Art A1 15. Oktober 2020

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020207768
Aktenzeichen: EP20719566
Anmeldetag: 20. März 2020
Veröffentlichung: 15. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G02B13/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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