Stochastic Reticle Defect Dispositioning

WO2020210177 Art A1 15. Oktober 2020

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020210177
Aktenzeichen: EP20787023
Anmeldetag: 7. April 2020
Veröffentlichung: 15. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/84G01N23/2251G01N21/88G03F1/70

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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