Inspection system with grounded capacitive sample proximity sensor

WO2020210560 Art A1 15. Oktober 2020

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020210560
Aktenzeichen: EP20788452
Anmeldetag: 10. April 2020
Veröffentlichung: 15. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G09G3/00G06F3/044G06F3/041

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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Fachgebiete

Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Software & Datenverarbeitung

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