Method for determining corrections to features of a mask

WO2020212107 Art A1 22. Oktober 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020212107
Aktenzeichen: EP20715027
Anmeldetag: 26. März 2020
Veröffentlichung: 22. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/36G01N21/956G03F1/84G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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