Charged particle device, method for emitting charged particle, vacuum forming device, and method for forming vacuum region

WO2020213065 Art A1 22. Oktober 2020

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020213065
Aktenzeichen: EP19924884
Anmeldetag: 16. April 2019
Veröffentlichung: 22. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/18H01J37/20H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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