Laser irradiation device, laser irradiation method, and method of manufacturing semiconductor device

WO2020213200 Art A1 22. Oktober 2020

Anmelder: THE JAPAN STEEL WORKS, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020213200
Aktenzeichen: EP19924800
Anmeldetag: 15. November 2019
Veröffentlichung: 22. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/20H01L21/268H01L21/336H01L29/786H01S3/00H01S3/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: THE JAPAN STEEL WORKS, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 The Japan Steel Works

The Japan Steel Works ist ein japanischer Maschinenbaukonzern, unter anderem für Spritzgießmaschinen und Stahlkomponenten. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Kunststoff- und Polymertechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt um Fertigungstechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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