Production method for monocrystalline silicon wafer and monocrystalline silicon wafer
WO2020213230
Art A1
22. Oktober 2020
Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020213230
- Aktenzeichen
- EP20791450
- Anmeldetag
- 5. Februar 2020
- Veröffentlichung
- 22. Oktober 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B33/02H01L21/322C30B29/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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