Cu Alloy Target

WO2020213232 Art A1 22. Oktober 2020

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020213232
Aktenzeichen: EP20791208
Anmeldetag: 6. Februar 2020
Veröffentlichung: 22. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/28H01L21/285H01L29/786C23C14/34G02F1/1343G02F1/1368

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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