Bonding device and method for correcting movement amount of bonding head

WO2020213588 Art A1 22. Oktober 2020

Anmelder: SHINKAWA LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020213588
Aktenzeichen
EP20791835
Anmeldetag
14. April 2020
Veröffentlichung
22. Oktober 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/52
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHINKAWA LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shinkawa

Shinkawa ist ein japanischer Hersteller von Bondanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Musashimurayama. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik, ergänzt um Mess- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Montagevorrichtungen und zugehörige Steuerprogramme.

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