Surface Coating Treatment

WO2020214536 Art A1 22. Oktober 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020214536
Aktenzeichen: EP20790502
Anmeldetag: 13. April 2020
Veröffentlichung: 22. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/458C23C16/44C23C4/04C23C4/10C23C28/04H01J37/32C25D11/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von