Object table, a stage apparatus, a lithographic apparatus and a method of loading an object onto an object table or stage apparatus

WO2020216555 Art A1 29. Oktober 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020216555
Aktenzeichen: EP20713890
Anmeldetag: 25. März 2020
Veröffentlichung: 29. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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