Driving device provided with piezoelectric element deterioration detection circuit and deterioration detection method

WO2020218226 Art A1 29. Oktober 2020

Anmelder: FUJIKIN INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020218226
Aktenzeichen
EP20794452
Anmeldetag
20. April 2020
Veröffentlichung
29. Oktober 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H02N2/06G01N27/00H01L41/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIKIN INCORPORATED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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