Method for producing ferroelectric film, ferroelectric film, and usage thereof
WO2020218617
Art A1
29. Oktober 2020
Anmelder: TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020218617
- Aktenzeichen
- EP20795568
- Anmeldetag
- 27. April 2020
- Veröffentlichung
- 29. Oktober 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/08C01G27/00C01G27/02C23C14/34C30B23/08C30B29/16H01B3/00H01L21/316H01L27/11507H01L27/1159H01L41/09H01L41/113H01L41/187H01L41/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Institute of Technology
Japanische technische Universität in Tokio mit Schwerpunkt auf Natur- und Ingenieurwissenschaften. Seit 2024 firmiert sie im Zuge einer Fusion als Institute of Science Tokyo.
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