Method for producing ferroelectric film, ferroelectric film, and usage thereof

WO2020218617 Art A1 29. Oktober 2020

Anmelder: TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020218617
Aktenzeichen
EP20795568
Anmeldetag
27. April 2020
Veröffentlichung
29. Oktober 2020
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/08C01G27/00C01G27/02C23C14/34C30B23/08C30B29/16H01B3/00H01L21/316H01L27/11507H01L27/1159H01L41/09H01L41/113H01L41/187H01L41/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Firma
TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Institute of Technology

Japanische technische Universität in Tokio mit Schwerpunkt auf Natur- und Ingenieurwissenschaften. Seit 2024 firmiert sie im Zuge einer Fusion als Institute of Science Tokyo.

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