Purge connectors and modules for a substrate container
WO2020219361
Art A1
29. Oktober 2020
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020219361
- Aktenzeichen
- EP20794172
- Anmeldetag
- 17. April 2020
- Veröffentlichung
- 29. Oktober 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
1.106 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.