Vaporization vessel and method

WO2020219702 Art A1 29. Oktober 2020

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020219702
Aktenzeichen: EP20794300
Anmeldetag: 23. April 2020
Veröffentlichung: 29. Oktober 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/448C23C16/44C23C14/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ENTEGRIS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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