Magnetic levitation system, base and carrier of a magnetic levitation system, and method of levitating a carrier

WO2020221414 Art A1 5. November 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020221414
Aktenzeichen: EP19721255
Anmeldetag: 29. April 2019
Veröffentlichung: 5. November 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/50C23C14/56C23C16/458C23C16/54H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von