Substrate transfer robot and substrate transfer method

WO2020226024 Art A1 12. November 2020

Anmelder: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA, KAWASAKI ROBOTICS (USA), INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020226024
Aktenzeichen: EP20802649
Anmeldetag: 10. April 2020
Veröffentlichung: 12. November 2020
Rechtsraum: WO
IPC: B25J9/06B25J9/10B25J9/16H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
KAWASAKI ROBOTICS (USA), INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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