Flow rate control device, flow rate control method, control program for flow rate control device

WO2020230574 Art A1 19. November 2020

Anmelder: FUJIKIN INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020230574
Aktenzeichen: EP20806010
Anmeldetag: 23. April 2020
Veröffentlichung: 19. November 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIKIN INCORPORATED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von