Bevel peeling and defectivity solution for substrate processing

WO2020231612 Art A1 19. November 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020231612
Aktenzeichen: EP20806738
Anmeldetag: 23. April 2020
Veröffentlichung: 19. November 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02C23C16/458H01L21/687C23C16/26C23C16/505C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von